以水电解氢为原料气,经催化除氧,冷凝和吸附干燥及过滤除尘获得≥99.9995%高纯氢气。如需要氢气纯度≥99.9999%,则需采用合金吸气材料进一步净化氢气中残余杂质.本装置结构紧凑,体积较小,纯化效果好,能耗低,催化剂可长期使用,无需再生处理,吸附剂在装置内再生循环使用。超高纯氢气在电子工业部门,用作氢气还原制取半导体超纯材料锗和硅,及用在半导体器件和集成电路的外延工序中及载气和燃烧用气。